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歷經(jīng)20個月緊張而有序的建設(shè),2017年6月28日,在合肥綜合保稅區(qū)封關(guān)運行兩周年之際,坐落在園區(qū)內(nèi)、安徽省較大的集成電路產(chǎn)業(yè)項目——合肥晶合12寸晶圓制造基地項目(一期)迎來了竣工典禮暨試產(chǎn)儀式的時刻:經(jīng)過500多道復(fù)雜的工序,首批晶圓預(yù)計在7月中旬就能夠正式下線。
作為合肥市初個100億人民幣以上的集成電路項目,項目的投產(chǎn)標志著合肥市打造“中國IC之都”的夢想照進了現(xiàn)實,使合肥市在集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展上至少躍進了10年;這也是安徽省D一座12寸晶圓廠,安徽省高品質(zhì)晶圓制造產(chǎn)業(yè)從此開始騰飛。在國家發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的總戰(zhàn)略上,安徽省、合肥市已經(jīng)有了嶄新的“坐標”。
在晶合公司的展廳內(nèi),400多位嘉賓參觀了合肥集成電路發(fā)展史和從沙子到芯片全產(chǎn)業(yè)鏈工藝的展示,安徽易芯半導(dǎo)體有限公司應(yīng)邀提供的12英寸硅棒和硅片等展品吸引了國內(nèi)外眾多同行的關(guān)注。
國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金丁文武總裁、工信部電子信息司彭紅兵副司長、安徽省經(jīng)信委王厚亮副主任等領(lǐng)導(dǎo)和行業(yè)專家先后聽取了易芯公司總經(jīng)理馬四海先生的介紹。據(jù)悉,該產(chǎn)品是以馬四海為首的科研團隊歷經(jīng)八年開發(fā)出來的成果,從大尺寸單晶爐設(shè)備、到全自動軟件控制系統(tǒng)、再到長晶工藝技術(shù)全部為團隊自主研發(fā),從設(shè)備、控制、工藝三方面填補了國內(nèi)空白,打破了國外壟斷。項目產(chǎn)品已通過行業(yè)專業(yè)機構(gòu)檢測,包括電阻率均勻性等在內(nèi)的關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)均達到國際標準。
目前,易芯公司一期項目八臺單晶爐設(shè)備安裝調(diào)試接近尾聲,水、電、氣等廠務(wù)環(huán)境建設(shè)已完成。七月初,將實現(xiàn)八條12英吋單晶硅棒生產(chǎn)線的批量生產(chǎn),年生產(chǎn)12英寸單晶硅棒170噸(成品),折合硅片約月產(chǎn)8萬片。