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2017年11月7日,國家集成電路裝備重大專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室副主任邱鋼,國家集成電路裝備重大專項(xiàng)技術(shù)副總師/清華大學(xué)機(jī)械電子工程研究所所長朱煜率國家集成電路重大專項(xiàng)專家組來我司進(jìn)行調(diào)研。省經(jīng)信委黨組成員、副主任王厚亮,省經(jīng)信委電子信息處處長趙明,新站高新區(qū)管委會副主任朱勝利等陪同調(diào)研。
公司董事長陳詩錦、總經(jīng)理馬四海帶領(lǐng)各位領(lǐng)導(dǎo)專家先后參觀了易芯公司展廳、12英寸電子級單晶硅棒生產(chǎn)線、12英寸硅棒后道加工車間,易芯總經(jīng)理馬四海向?qū)<覀冊敿?xì)介紹了易芯自主研發(fā)的大尺寸晶體生長爐和全自動晶體生長控制系統(tǒng)的研發(fā)歷程、技術(shù)突破和科研成果,并對專家的提出的疑惑一一進(jìn)行了解答,同時對比分析了國外大尺寸硅片企業(yè)長晶技術(shù)與本公司長晶技術(shù)的異同。
國家集成電路重大專項(xiàng)各位領(lǐng)導(dǎo)專家高度評價了易芯公司自主研發(fā)的大尺寸晶體生長爐和全自動晶體生長控制系統(tǒng),對易芯公司實(shí)現(xiàn)設(shè)備、軟件、工藝等三方面國產(chǎn)化突破給予了積極評價和高度肯定。